FMS80VR真空步進電機高精度整體臺面平移臺:在FMS80R系列基礎上,我們設計了FMS80VR系列真空專用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環境的應用中,在-196 ~ +250℃的高低溫環境、多種輻射環境以及真空度10-7~ 10-3Pa環境中仍然能夠保持高精度運?。
FMSZ真空步進電機升降臺:我們開發的FMSZ系列真空步進電機升降臺。經過特殊設計,方便與我們的其余產品搭建成多維位移臺。承載高,并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。
FMSXXY170Z-200-200直線電機龍門雙驅平臺:我們研發的?理石龍門雙驅位移臺,雙向重復定位精度可達亞微米級。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅結構,同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結合CCD等器件,可做成套設備交付客戶使用。
FMSXY系列步進電機二維掃描臺:我們研發的?體化步進二維位移臺。控制器可內置。雙向重復定位精度和微步能力*。結構小巧,易于配套集成。可配標準FMC01系列控制器應用,也提供SDK給客戶做?次開發。
FMSXY系列直線電機中空二維掃描平臺:我們開發的此款?維掃描位移臺,采用了直驅技術,速度快,精度高,承載?。非常適合于需要?維運動的設備和應?。配合菲克科技的高性能控制器能實現:位置記憶,位置觸發,任意平?圖形導?。適合與顯微鏡?起使?,同時提供配套附件,可用于市?上?多數顯微鏡。
FMSXY系列直線電機二維掃描臺:我們開發的整體?維位移臺,應用于?些特殊應?場合。亞微?級精度,?體化設計,高可靠性,可用于各種需要?維運動的場合。配合FMC04控制器使?,具有微動,高速,低速等特性。
FMSZ-C系列直線電機升降臺:我們的直線電機垂直升降臺,可選擇恒力彈簧配重和氣缸配重兩種版本。特別適用于對尺寸有特殊要求,且對Pitch,Yaw要求嚴苛的應?場合。在高精度檢測、精密實驗室基本建設等應用環境下,FMSZ-C系列升降臺具有結構簡單且擁有優秀的微步能力和位置穩定性的特點。
FMSZ65C-08直線電機升降臺:在有限空間中,設計出高精度的Z軸位移臺,?直是位移控制領域?大難點。針對空間極其有限、精度要求苛刻的特殊應用場景,我們推出了FMSZ65C-08升降臺。采用氣缸配重,直線電機+交叉滾柱導軌結構,自適應負載的情況下實現±0.1μm極限雙向重復定位精度。
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